晶圆传输系统

EFEM（Equipment Front End Module）

EFElM 包含多达 4 个装载端口、2 个大气机器人、2 个缓冲单元、2 个晶圆居中和抓取对准单元以及 2 个风扇过滤器单元，以保持 EFEM 内部的清洁度。

特征

• 各种大气机器人和预对准器可采用单臂、双臂、翻转机器人等。

• 带 GN-PAD 的被动末端执行器 - 防止晶圆碎裂、颗粒

• 使用多种类型的预对准器自动准确地对准晶圆。

• 可靠的装载端口模块和氮气吹扫的 FOUP（选项）。

• 三星和 SK 海力士规格。 符合SEMl标准的满意度

• 与所有工艺和计量设备轻松集成。

Standard EFEM

特征 多种大气机器人及预对准器可采用单臂、双臂、翻转机器人等。 带 GN-PADMORE 的被动末端执行器 >防止晶圆碎裂、颗粒 使用多种类型的预对准器自动准确地对准晶圆。 与所有流程和计量设备轻松集成。

N2 Purge EFEM

特征 出色的密封性和低氮气消耗量 自循环 通过管道和化学过滤器进行 N2 循环02 通过 O2 传感器监测浓度

真空吊舱传送系统/Vacuum Pod Transfer System

随着半导体器件超精细集成化的进展，暴露在外部的衬底的污染或氧化会导致成品率和工艺缺陷问题，因此需要通过完全阻挡外界空气来保持真空环境以防止氧化或污染。

Vacuum chamber Type

特征 包括 EFEM 和 LPM 在内的设备，用于将 300mm 晶圆转移到真空舱中 真空舱可防止颗粒污染和自然氧化 在真空室类型中，真空舱位于 EFEM 的背面

Vacuum LPM type

特征 包括 EFEM 和 LPM 在内的设备，用于将 300mm 晶圆转移到真空舱中 真空舱可防止颗粒污染和自然氧化 在真空 LPM 类型中，真空舱位于 EFEM 前面，以最大限度地减少占地面积